Bc. Pavel MAREŠ

Master's thesis

Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti

Pulse magnetron deposition of Zr-B-C-(N) films and their properties
Abstract:
Práce se zabývá současnou problematikou v oblasti tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Dále pak přehledem metod vytváření a analýzy tenkých vrstev. Ve výsledkové části se hodnotí závislost mechanických a tribologických vlastností vrstev Zr-B-C-(N), naprášených pulsní magnetronovou depozicí, na teplotě substrátů, na zastoupení Zr v erozní zóně terče a na složení atmosféry.
Abstract:
This work deals with curret issue of thin films from Zr and B4C. Next there are described methods of creation and analysis of these films. In the result and discusion part of this work are analysed mechanical and tribological properties of thin films Zr-B-C-(N) created by pulse magnetron sputtering depending on substrate temperature, Zr fraction in the target errosion area and on N2 fraction in the …more
 

Keywords

Zr-B-C-(N) depozice tenké vrstvy naprašování pulsní magnetronová
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 6. 2011
Identifier: 43475

Thesis defence

  • Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

MAREŠ, Pavel. Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti. Plzeň, 2011. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Full text of thesis

Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 17. 06. 2011

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=43475 Reference to the local database file of the institution