Reaktivní depozice vrstev Si-B-C-N pomocí kontinuálních a pulzních magnetronových výbojů – Ing. Pavel CALTA
Ing. Pavel CALTA
Doctoral thesis
Reaktivní depozice vrstev Si-B-C-N pomocí kontinuálních a pulzních magnetronových výbojů
Reactive deposition of Si-B-C-N coatings using continuous and pulsed magnetron discharges
Anotácia:
Zájem o nové kvaternární materiály SiBCN roste díky jejich vysokoteplotním vlastnostem a použití v nepříznivých podmínkách. Tvrdé (22-24 GPa) amorfní vrstvy SiBCN s vysokoteplotní stabilitou a oxidační odolností (nad 1500°C) byly deponovány na různé substráty (Si, SiC, WC-Co s vrstvou 250 nm TiN nebo CrN) pulzním magnetronovým naprašováním použitím terče B4C-Si (25:75 %) ve směsi Ar-N2 (50:50 %). Teplota …viacAbstract:
Novel quaternary SiBCN materials are becoming increasingly attractive because of their possible high-temperature and harsh-environment applications. Hard (22 - 24 GPa) amorphous Si-B-C-N coatings with high thermal stability and oxidation resistance (even above 1500 °C) were deposited on various substrates (Si, SiC, WC-Co and WC-Co with 250 nm TiN or CrN interlayers) by pulsed dc magnetron sputtering …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 2. 5. 2011
Identifikátor:
23503
Obhajoba závěrečné práce
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
CALTA, Pavel. \textit{Reaktivní depozice vrstev Si-B-C-N pomocí kontinuálních a pulzních magnetronových výbojů}. Online. Dizertačná práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2011. Dostupné z: https://theses.cz/id/hyvfll/.
Jak správně citovat práci
CALTA, Pavel. Reaktivní depozice vrstev Si-B-C-N pomocí kontinuálních a pulzních magnetronových výbojů. Plzeň, 2011. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 02. 05. 2011
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Práce na příbuzné téma
-
Multikomponentní vrstvy s vysokou teplotní stabilitou připravené pulzním reaktivním magnetronovým naprašováním
Veronika ŠÍMOVÁ -
Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou
Martin ŠAŠEK -
Vztah mezi složením tuků a olejů a jejich odolnosti vůči oxidaci
Václav Zeman -
Vysokoteplotní chování metastabilních oxidových a multikomponentních neoxidových vrstev
Šárka ZUZJAKOVÁ