Vít TEŘL

Bachelor's thesis

Počítačové modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev

Anotácia:
Předložená bakalářská práce se zaměřuje na studium ionizace atomů sekundárními elektrony v objemu plazmatu pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Na tento úkol byl vytvořen počítačový model. V první části je stručně popsán princip a vývoj pulzního vysokovýkonového magnetronového naprašování a způsoby počítačového modelování plazmatu. Ve druhé části je vytvořen počítačový …viac
Abstract:
The presented thesis is focused on the ionization of different atoms by secondary electrons in high power impulse magnetron sputtering used for thin film deposition. A computer model was developed for this task. In the first part, the principles and development of high power impulse magnetron sputtering and plasma computer simulations techniques are presented. In the second part there are described …viac
 
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 13. 7. 2018
Zverejniť od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedúci: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.

Citační záznam

Jak správně citovat práci

TEŘL, Vít. Počítačové modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Plzeň, 2018. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/