Určení absolutní koncentrace částic při magnetronovém naprašování – Bc. Jan Slaný
Bc. Jan Slaný
Bachelor's thesis
Určení absolutní koncentrace částic při magnetronovém naprašování
Determination of the absolute concentration of sputtered species during magnetron sputtering
Abstract:
Tato práce se zabývá studiem plazmatu při magnetronovém naprašování a zkoumá metodu pro určení absolutní koncentrace rozprášených částic. Metoda účinných větvicích poměrů (EBF), dříve aplikovaná na titan, je zde rozšířena na wolframový atom a iont. Východiskem pro metodu je určení vhodných kandidátů na použitelné spektrální čáry. Chování tohoto výběru čar je potom ověřeno na několika případech. Je …moreAbstract:
This thesis deals with plasma diagnostics during magnetron sputtering and explores a method for determining the absolute concentration of sputtered species. The effective branching fractions method (EBF), which has been successfully used for titanium, is here extended to cover tungsten neutrals and ions as well. The starting point is selecting candidate spectral transitions to be used in the method …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 6. 2021
Identifier:
https://is.muni.cz/th/f20wd/
Thesis defence
- Date of defence: 13. 7. 2021
- Supervisor: Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
- Reader: doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Diagnostika magnetronového výboje pomocí cavity ring-down spektroskopie
Veronika NĚMCOVÁ -
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Veronika NĚMCOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií
Tereza Schmidtová -
Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu
Šimon Žulták