Určení absolutní koncentrace částic při magnetronovém naprašování – Bc. Jan Slaný
Bc. Jan Slaný
Bakalářská práce
Určení absolutní koncentrace částic při magnetronovém naprašování
Determination of the absolute concentration of sputtered species during magnetron sputtering
Anotace:
Tato práce se zabývá studiem plazmatu při magnetronovém naprašování a zkoumá metodu pro určení absolutní koncentrace rozprášených částic. Metoda účinných větvicích poměrů (EBF), dříve aplikovaná na titan, je zde rozšířena na wolframový atom a iont. Východiskem pro metodu je určení vhodných kandidátů na použitelné spektrální čáry. Chování tohoto výběru čar je potom ověřeno na několika případech. Je …víceAbstract:
This thesis deals with plasma diagnostics during magnetron sputtering and explores a method for determining the absolute concentration of sputtered species. The effective branching fractions method (EBF), which has been successfully used for titanium, is here extended to cover tungsten neutrals and ions as well. The starting point is selecting candidate spectral transitions to be used in the method …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 6. 2021
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/f20wd/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 13. 7. 2021
- Vedoucí: Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
- Oponent: doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Diagnostika magnetronového výboje pomocí cavity ring-down spektroskopie
Veronika NĚMCOVÁ -
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Veronika NĚMCOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií
Tereza Schmidtová -
Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu
Šimon Žulták