Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji – Bc. Václav Pekař
Bc. Václav Pekař
Diplomová práce
Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji
Plasma enhanced chemical vapor deposition of organosilicon films in radio frequency glow discharges
Anotace:
Tématem této práce byla depozice tenkých vrstev metodou PECVD ve vysokofrek\-venčním doutnavém výboji. Vrstvy byly připravovány ze směsí obsahujících organosilikonové monomery hexametyldisilazan a hexametyldisiloxan. Vrstvy byly charakterizovány těmito metodami: FTIR, UV a viditelná spektrofotometrie, elipsometrie, RBS a ERDA. Byla vyšetřována především IR spektra vrstev. U vrstev připravených ze směsi …víceAbstract:
The subject matter of my diploma paper is deposition of thin films by PECVD in radio frequency glow discharge. Films were prepared out of mixtures containing organosilicon monomers hexamethyldisilasane and hexamethyldisiloxane. The characterisation of the films was accomplished by this methods: FTIR, UV and visible spectrofotometry, ellipsometry, Rutherford backscattering spectroscopy and elastic recoil …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2010
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/brl56/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 11. 6. 2010
- Vedoucí: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaMagisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu
Práce na příbuzné téma
-
Studium plazmových polymerů cyklopropylaminu a jejich stability během sterilizace a dezinfekce
Štěpánka Bittnerová -
Tenké vrstvy plazmového polymeru na kovových substrátech
Pavel Mach -
Kontrolovaná adsorpce antimikrobiálního enzymu na povrch plazmového polymeru
Kateřina JANOŠŤÁKOVÁ -
Charakterizace adheze tenkých vrstev plazmových polymerů
Erik Pálesch -
Studium mechanismu plazmové polymerace
Miroslav Michlíček -
Polymerní vrstvy s nanočásticemi stříbra
Barbora ŠTEFKOVÁ -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Příprava ochranných vrstev na polymerní materiály metodou plazmochemické depozice
Lukáš Kelar