Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje

Bc. Matej Fekete

Master's thesis

Time resolved spectroscopy of HIPIMS discharge

Abstract:

This master thesis is dedicated to the diagnostic of HiPIMS discharge. Physical properties of magnetron sputtering, advantages and disadvantages of HiPIMS compared to DC sputtering and diagnostic methods suitable for the study of HiPIMS discharge are described. Within this thesis was developed a method based on the effective branching fractions by which it is possible to determine the absolute concentrations of titanium sputtered particles on ground levels from the relative intensities of the select emission lines of titanium atoms and ions. This diagnostic method was used to determine the concentration of the sputtered titanium by DC sputtering under various parameters of the discharge and to determine the evolution of concentration of titanium sputtered atoms and ions during and after the HiPIMS pulse.

Abstract:

Táto diplomová práca sa zaoberá diagnostikou HiPIMS výboja. Sú tu popísané fyzikálne princípy magnetrónového naprašovania, výhody a nevýhody HiPIMS oproti DC naprašovaniu a diagnostické metódy vhodné na skúmanie HiPIMS výboja. V rámci práce bola rozvinutá metóda založená na efektívnych vetviacich pomeroch, pomocou ktorej je možné z relatívnych intenzít vybraných emisných čiar atómu a iónu titánu určiť absolútne koncentrácie rozprášených častíc titánu na základných energetických hladinách. Táto diagnostická metóda bola použitá pri zisťovaní koncentrácie rozprášeného titánu v DC naprašovaní pri rôznych parametroch výboja a pri určovaní vývoja koncentrácie rozprášených atómov a iónov titánu v priebehu i po skončení HiPIMS pulzu.

Kľúčové slová

HiPIMS, vetviace pomery, koncentrácia rozprášených častíc, opticko emisná spektroskopia, branching fractions, concentration of sputtered species, optical emission spectroscopy

Jazyk práce: Slovak

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2015

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 19. 6. 2015
• Vedúci: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Master programme / odbor:
Physics / Plasma Physics