Zpět na vyhledávání

Bc. Matej Fekete

Diplomová práce

Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje

Time resolved spectroscopy of HIPIMS discharge
Abstract:
This master thesis is dedicated to the diagnostic of HiPIMS discharge. Physical properties of magnetron sputtering, advantages and disadvantages of HiPIMS compared to DC sputtering and diagnostic methods suitable for the study of HiPIMS discharge are described. Within this thesis was developed a method based on the effective branching fractions by which it is possible to determine the absolute concentrations …více
Abstract:
Táto diplomová práca sa zaoberá diagnostikou HiPIMS výboja. Sú tu popísané fyzikálne princípy magnetrónového naprašovania, výhody a nevýhody HiPIMS oproti DC naprašovaniu a diagnostické metódy vhodné na skúmanie HiPIMS výboja. V rámci práce bola rozvinutá metóda založená na efektívnych vetviacich pomeroch, pomocou ktorej je možné z relatívnych intenzít vybraných emisných čiar atómu a iónu titánu určiť …více
 

Klíčová slova

HiPIMS vetviace pomery koncentrácia rozprášených častíc opticko emisná spektroskopia branching fractions concentration of sputtered species optical emission spectroscopy
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2015
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/m2np7/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 19. 6. 2015
  • Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.