Plazmochemická depozice tenkých vrstev a jejich optické vlastnosti v UV až IR oblasti – Mgr. Pavel Ondračka
Mgr. Pavel Ondračka
Bachelor's thesis
Plazmochemická depozice tenkých vrstev a jejich optické vlastnosti v UV až IR oblasti
Plasmachemical Deposition of Thin Films and Their Optical Properties in UV-IR Range
Abstract:
Během této práce byly nanášeny tenké vrstvy ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji ze směsi hexametyldisiloxanu a kyslíku. Dále byly měřeny optické vlastnosti připravených vrstev. Za tímto účelem byla použita spektroskopická elipsometrie a odrazivost v oblasti ultrafialového (UV) až viditelného záření a měření transmise v infračervené oblasti. Byly zkoumány vlivy depozičních podmínek na optické vlastnosti …moreAbstract:
In this thesis, thin films were deposited from the mixture of oxygen and hexamethyldisiloxane in radio frequency glow discharge. The optical properties of the deposited films were measured by spectroscopic ellipsometry and reflectance in ultraviolet and visible range. Chemical structure of the films was studied by transmittance in infrared range. The influence of deposition parameters for optical constants …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2011
Identifier:
https://is.muni.cz/th/tbj8r/
Thesis defence
- Date of defence: 24. 6. 2011
- Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ONDRAČKA, Pavel. \textit{Plazmochemická depozice tenkých vrstev a jejich optické vlastnosti v UV až IR oblasti}. Online. Bachelor's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2011. Available from: https://theses.cz/id/kp9p6g/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Plasma enhanced chemical vapor deposition of functional coatings for biomedical applications
Miroslav Michlíček -
Plazmová polymerace tenkých vrstev s epoxidovými skupinami
Šárka Fuková -
Plazmová polymerace tenkých vrstev s epoxidovými skupinami
Šárka Fuková -
Studium mechanismu plazmové polymerace
Miroslav Michlíček -
Fotoiniciovaná polymerace hybridních monomerů
Josef Knobloch -
Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties
Miroslav Valtr -
Study of Dielectric Properties and Mechanisms of Electrical Conduction of Thin Dielectric Films Prepared by PECVD
Jana Franclová -
Vývoj a studium pokročilých multivrstev a nanokompozitů připravených s použitím magnetronového naprašování a PECVD
Richard Václavik