Zpět na vyhledávání

Mgr. Pavel Ondračka

Bachelor's thesis

Plazmochemická depozice tenkých vrstev a jejich optické vlastnosti v UV až IR oblasti

Plasmachemical Deposition of Thin Films and Their Optical Properties in UV-IR Range
Abstract:
Během této práce byly nanášeny tenké vrstvy ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji ze směsi hexametyldisiloxanu a kyslíku. Dále byly měřeny optické vlastnosti připravených vrstev. Za tímto účelem byla použita spektroskopická elipsometrie a odrazivost v oblasti ultrafialového (UV) až viditelného záření a měření transmise v infračervené oblasti. Byly zkoumány vlivy depozičních podmínek na optické vlastnosti …more
Abstract:
In this thesis, thin films were deposited from the mixture of oxygen and hexamethyldisiloxane in radio frequency glow discharge. The optical properties of the deposited films were measured by spectroscopic ellipsometry and reflectance in ultraviolet and visible range. Chemical structure of the films was studied by transmittance in infrared range. The influence of deposition parameters for optical constants …more
 

Keywords

PECVD HMDSO plazmová polymerace plazma tenké vrstvy plasma polymerization plasma thin films
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2011
Identifier: https://is.muni.cz/th/tbj8r/

Thesis defence

  • Date of defence: 24. 6. 2011
  • Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution