Zpět na vyhledávání

Mgr. Pavel Ondračka

Bakalářská práce

Plazmochemická depozice tenkých vrstev a jejich optické vlastnosti v UV až IR oblasti

Plasmachemical Deposition of Thin Films and Their Optical Properties in UV-IR Range
Anotace:
Během této práce byly nanášeny tenké vrstvy ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji ze směsi hexametyldisiloxanu a kyslíku. Dále byly měřeny optické vlastnosti připravených vrstev. Za tímto účelem byla použita spektroskopická elipsometrie a odrazivost v oblasti ultrafialového (UV) až viditelného záření a měření transmise v infračervené oblasti. Byly zkoumány vlivy depozičních podmínek na optické vlastnosti …více
Abstract:
In this thesis, thin films were deposited from the mixture of oxygen and hexamethyldisiloxane in radio frequency glow discharge. The optical properties of the deposited films were measured by spectroscopic ellipsometry and reflectance in ultraviolet and visible range. Chemical structure of the films was studied by transmittance in infrared range. The influence of deposition parameters for optical constants …více
 

Klíčová slova

PECVD HMDSO plazmová polymerace plazma tenké vrstvy plasma polymerization plasma thin films
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2011
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/tbj8r/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 24. 6. 2011
  • Vedoucí: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce