Studium termální stability diamantu podobných tenkých vrstev připravených plazmochemickou depozicí

Mgr. Jaroslav Zůda, PhD.

Bakalářská práce

Anotace:

Tato bakalářská práce se zabývá studiem diamantu podobných tenkých vrstev připravených plazmochemickou depozicí z plynné fáze. Tento typ tenkých vrstev se vyznačuje některými vlastnostmi, které ho předurčují k použití v průmyslu. Mechanické vlastnosti byly měřeny metodou instrumentované indentace a optickou metodou. Optické vlastnosti byly měřeny elipsometrem. Některé vrstvy byly zahřívány kvůli zjištění teplotní závislosti některých mechanických parametrů. Zároveň bylo možné zkoumat látky vylučující se z vrstvy, a to pomocí termální desorpční spektroskopie.

Abstract:

This thesis concerns on study of the diamond-like carbon thin films prepared by plasma enhanced chemical vapour deposition. This type of thin films has some special characteristics so it is commonly used in industry. Mechanical properties of these films were measured by means of depth sensing indentation methode and optical method. The optic properties were measured by ellipsometer. Some films were annealed to learn more about the influence of temperature on mechanical properties. At the same time we were able to detect the materials leaving the film by thermal desorption spectroscopy.

Klíčová slova

DLC, PECVD, DSI, tvrdost, elipsometrie, TDS, AFM

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 5. 2006

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 29. 6. 2006
• Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika