Bc. Richard Kubját

Bakalářská práce

Selektivní leptání As-S vrstev

Selective etching of As-S thin films
Anotace:
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu …více
Abstract:
This Bachelor´s paper deals with preparation of chalcogenide thin films of system As-S and with study of their selective wet-etching in different etching baths. Thin films of As40S60, As35S65 and As30S70 compositions were prepared by vacuum deposition method. Influence of exposure and/or annealing on their dissolution rate in amine bases as well as influence of composition and concentration of amine …více
 

Klíčová slova

chalkogenidová skla systém As-S tenké vrstvy selektivní leptání
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 7. 2016

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 22. 8. 2016
  • Vedoucí: prof. Ing. Miroslav Vlček, CSc.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Kubját, Richard. Selektivní leptání As-S vrstev. Pardubice, 2016. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologická
https://portal.upce.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=27094 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce