Bc. Richard Kubját

Bachelor's thesis

Selektivní leptání As-S vrstev

Selective etching of As-S thin films
Abstract:
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu …more
Abstract:
This Bachelor´s paper deals with preparation of chalcogenide thin films of system As-S and with study of their selective wet-etching in different etching baths. Thin films of As40S60, As35S65 and As30S70 compositions were prepared by vacuum deposition method. Influence of exposure and/or annealing on their dissolution rate in amine bases as well as influence of composition and concentration of amine …more
 

Keywords

chalkogenidová skla systém As-S tenké vrstvy selektivní leptání
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 11. 7. 2016

Thesis defence

  • Date of defence: 22. 8. 2016
  • Supervisor: prof. Ing. Miroslav Vlček, CSc.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

Kubját, Richard. Selektivní leptání As-S vrstev. Pardubice, 2016. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologická
https://portal.upce.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=27094 Reference to the local database file of the institution