Příprava a vlastnosti mikroelektrod pro měření elektrických vlastností chalkogenidů

Bc. Radim Vala

Bakalářská práce

Preparation and properties of microelectrodes, dedicated for electrical measurement in chalcogenides

Anotace:

Tato práce se zabývá procesem přípravy mikroelektrod pomocí litografických metod. V teoretické části se tato práce zabývá srovnáním a popisem nejčastěji uţívaných litografických metod, jejich výhodami a specifikacemi. Poté jsou zde popsány vlastnosti nejčastěji uţívaných kovů určených pro výrobu. Praktická část se zaměřuje na popis přípravy Cu, Al mikroelektrod a popisem jejich optických a elektrických vlastností. Mikroelektrody mají slouţit pro spínání CB RAM paměti.

Abstract:

This work examines the process of manufacturing microelectrodes using lithography techniques. The theoretical part of this work focuses on the comparison and the description of the most frequently used lithographic methods, their advantages and specifications. Then there are described the properties of most commonly used metals to manufacture. The practical part focuses on the preparation of Cu, Al microelectrodes and a description of their optical and electrical properties. Microelectrodes are used for switching the CB RAM.

Klíčová slova

Mikroelektrody, UV litografie, Kontaktní litografie, Projekční litografie

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 7. 2015

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 24. 8. 2015
• Vedoucí: prof. Ing. Tomáš Wágner, DrSc.

Univerzita Pardubice

Fakulta chemicko-technologická

Bakalářský studijní program / obor:
Chemie a technická chemie / Chemie a technická chemie