Optická a mikrovlnná diagnostika výboje s povrchovou vlnou

Bc. Martin Duchaň

Bakalářská práce

Optical and microwave diagnostics of surface wave plasma

Anotace:

Tato bakalářská práce se věnuje diagnostice mikrovlnného plazmového výboje buzeného povrchovou vlnou za nízkého tlaku. Pracovním plynem je v první části čistý argon a ve druhé části argon s malou příměsí vodíku. Hlavní metodou diagnostiky plazmatu je prostorově rozlišená optická emisní spektroskopie, dále pak mikrovlnná autointerferometrie. Výsledkem měření jsou radiální a axiální průběhy intenzit spektrálních čar, excitačních teplot, rotačních a vibračních teplot a koncentrace elektronů. Výsledky jsou následně diskutovány.

Abstract:

This bachelor thesis studies low-pressure plasma discharge excited by surface wave. Working gas is pure argon in first part and in second part a small amount of hydrogen is mixed with argon. The main diagnostic method is spatially resolved optical emission spectroscopy. Second method is microwave autointerferometry. The results of measurement are radial and axial profiles of intensities of spectral lines, excitation temperatures, rotational and vibrational temperatures and concentration of electrons. The results are discussed.

Klíčová slova

Plazma, Spektroskopie, Argon, Abelova transformace, Autointerferometrie, Výboj za nízkého tlaku, Výboj s povrchovou vlnou, Surfaguide, Plasma, Spectroscopy, Abel Transform, Autointerferometry, Low-pressure Discharge, Surface Wave Discharge

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2018

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 25. 6. 2018
• Vedoucí: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.
• Oponent: Mgr. Jan Voráč, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika