Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů – Milada KREJČOVÁ
Milada KREJČOVÁ
Bachelor's thesis
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Non-stacionary model for High Power Magnetron sputtering of metals
Anotácia:
Předkládaná bakalářská práce se v úvodu zabývá využitím plazmových technologií. Dále popisuje základy magnetronového naprašování, jejich vývoj a použití, přičemž se zaměřuje především na vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování. Poté rozebírá základní metody modelování a simulace plazmatu a zaobírá se jednotlivými modely pro vysokovýkonové pulzní magnetronové výboje. Ve zvolených metodách zpracování …viacAbstract:
The presented bachelor?s thesis is at the beggining focused on using of plasma tech-nologies. Next, it explains basics of magnetron sputtering, its developement and use, with focus on High Power Impulse Magnetron Sputtering. Afterwards, it discusses ba-sic methods in modelling and simulation of plasma, with closer look on speci?c models for High Power Impulse Magnetron Sputtering discharges. The thesis …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 8. 2013
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 22. 8. 2013
- Vedúci: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
KREJČOVÁ, Milada. Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů. Plzeň, 2013. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesBachelor programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied and Engineering Physics
Práce na příbuzné téma
-
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev
Branislav ZUŠTIN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Tereza LERCHOVÁ -
Diagnostika a modelování vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů
Jan LAZAR