Vývoj průmyslové technologie přípravy diamantu podobných vrstev – Bc. Michael Kroker
Bc. Michael Kroker
Bachelor's thesis
Vývoj průmyslové technologie přípravy diamantu podobných vrstev
Development of industrial technology for deposition of DLC thin films
Abstract:
Tato práce je zaměřena na vývoj průmyslové technologie výroby diamantu podobných uhlíkových vrstev. Cílem je připravit tenké DLC vstvy typu ta-C na průmyslovém povlakovacím zařízení. Vrstvy jsou připraveny odprašováním uhlíkového terče v magnetronové konfiguraci za sníženého tlaku v Ar/CO/CO2 atmosféře. Je popsán vliv depozičních parametrů na podíl sp3 vázaných uhlíkových atomů ve struktuře vrstvy …moreAbstract:
This thesis focuses on developing of an industrial technology for deposition of the diamond-like carbon thin films. The goal is to synthesize ta-C thin films using an industrial sputtering system. Thin films were deposited by sputtering of an carbon target in magnetron configuration at low pressure in Ar/CO/CO2 atmosphere. Evolution of sp3 bonding ratio is examined in effect of deposition pressure …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 18. 5. 2016
Identifier:
https://is.muni.cz/th/yrjek/
Thesis defence
- Date of defence: 28. 6. 2016
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics
Theses on a related topic
-
Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
Jan Čupera -
Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem
Tomáš Gardelka -
Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
Radek Žemlička -
Studium termální stability diamantu podobných tenkých vrstev připravených plazmochemickou depozicí
Jaroslav Zůda -
Charakterizace mechanických vlastností diamantu podobných tenkých vrstev
Pavel Stratil -
Moderní brýlové čočky potažené diamantu podobnou uhlíkovou vrstvou
Jiří Fogl -
Příprava funkčních vrstev metodami PVD
Radek Žemlička