Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD – Bc. Petra BUBLÍKOVÁ
Bc. Petra BUBLÍKOVÁ
Diplomová práce
Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD
Creation of polycrystalline silicon thin films by re-crystallization of amorphous silicon deposited by PVD and CVD methods
Anotace:
Diplomová práce se zabývá tvorbou amorfních křemíkových vrstev o tloušťce přibližně 1 mikrometr, jejich tepelným zpracováním pro přeměnu amorfní fáze na krystalickou a vyhodnocením vlivu odlišných depozičních technik na strukturu po tepelném zpracování. Práce se zabývá výzkumem mikrostrukturních a optických vlastností vrstev po tepelném zpracování ve srovnání s výchozí strukturou po depozici. Vrstvy …víceAbstract:
The diploma work deals with the creation of amorphous silicon thin films (thickness approximately 1 ?m) and with the heat treatment of these films to achieve the microcrystalline structure. The work deals with the different kinds of methods of deposition and their influence on properties of thin films after heat treatment in the comparison with thin films after deposition. The aim of this work is to …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 5. 2012
Zveřejnit od: 25. 5. 2012
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Doc. RNDr. Pavol Šutta, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
BUBLÍKOVÁ, Petra. \textit{Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD}. Online. Diplomová práce. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta strojní. 2012. Dostupné z: https://theses.cz/id/ni9le5/.
Jak správně citovat práci
BUBLÍKOVÁ, Petra. Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD. Plzeň, 2012. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta strojní
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 25.5.2012
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou od 25. 5. 2012 dostupné: světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta strojníZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta strojníMagisterský studijní program / obor:
Strojní inženýrství / Materiálové inženýrství a strojírenská metalurgie
Práce na příbuzné téma
-
Využití rentgenové difrakční analýzy při optimalizaci syntéz katodových materiálů pro Li-ion akumulátory
Marek Kunz -
Analýza struktury vybraného materiálu pro ukládání vodíku
David Nejezchleba -
Rtg difrakční analýza oxidových vrstev
Tomáš Číž -
Studium karbonatace portlanditu pomocí in-situ rentgenové difrakční analýzy
Lukáš Růžička -
Analýza působení zbytkového napětí na funkčnost ložisek
Kryštof Petrášek -
Dynamická mechanická analýza vstřikovaných polypropylenových kompozitů se skleněnými vlákny
Martin Novák -
Analýza vztahu mezi optickými/elektronovými/texturními/strukturními vlastnostmi dopovaných TiO2 nanomateriálů a jejich aktivitou ve fotokatalýze
Jakub Starostka -
Školní pokusy z optické spektroskopie
Jakub Jedlička