Zpět na vyhledávání

Bc. Petra BUBLÍKOVÁ

Master's thesis

Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD

Creation of polycrystalline silicon thin films by re-crystallization of amorphous silicon deposited by PVD and CVD methods
Abstract:
Diplomová práce se zabývá tvorbou amorfních křemíkových vrstev o tloušťce přibližně 1 mikrometr, jejich tepelným zpracováním pro přeměnu amorfní fáze na krystalickou a vyhodnocením vlivu odlišných depozičních technik na strukturu po tepelném zpracování. Práce se zabývá výzkumem mikrostrukturních a optických vlastností vrstev po tepelném zpracování ve srovnání s výchozí strukturou po depozici. Vrstvy …more
Abstract:
The diploma work deals with the creation of amorphous silicon thin films (thickness approximately 1 ?m) and with the heat treatment of these films to achieve the microcrystalline structure. The work deals with the different kinds of methods of deposition and their influence on properties of thin films after heat treatment in the comparison with thin films after deposition. The aim of this work is to …more
 

Keywords

amorfní křemík mikrokrystalický křemík tenké vrstvy polovodiče p-i-n přechod tepelné zpracování rekrystalizace zakázaný pás CVD depozice PVD depozice rentgenová difrakční analýza optická spektroskopie strukturní vlastnosti absorpční vlastnosti elektromagnetické záření solární články.
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 25. 5. 2012
Accessible from:: 25. 5. 2012

Thesis defence

  • Supervisor: Doc. RNDr. Pavol Šutta, Ph.D.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

BUBLÍKOVÁ, Petra. Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD. Plzeň, 2012. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta strojní

Full text of thesis

Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 25.5.2012

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • Soubory jsou od 25. 5. 2012 dostupné: světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta strojní
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=46664 Reference to the local database file of the institution