Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou – Ing. Martin ŠAŠEK
Ing. Martin ŠAŠEK
Doctoral thesis
Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou
Magnetron deposition of oxide and nitride thin films with high thermal stability
Abstract:
V současné době existuje poptávka po nových tenkovrstvých materiálech s možností použití v oxidační atmosféře za teplot vyšších než 1000 °C. Proto se předkládaná disertační práce zabývá magnetronovým naprašováním tří skupin tenkovrstvých materiálů a studiem jejich vlastností a chování za uvedených podmínek. Jedná se o tenké vrstvy Al-Si-N, CuOx a Al2O3. Tenké vrstvy Al-Si-N byly zvoleny jako alternativa …moreAbstract:
In present times there is a strong demand for thin film materials usable in the oxidation atmosphere at temperatures over 1000 °C. Therefore this Ph.D. thesis deals with the magnetron sputtering of three groups of thin film materials, their properties evaluation and behavior at the above mentioned conditions. These thin film materials are Al-Si-N, CuOx and Al2O3. Al-Si-N thin films were chosen as the …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 22. 8. 2012
Accessible from:: 22. 8. 2012
Thesis defence
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ŠAŠEK, Martin. \textit{Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2012. Available from: https://theses.cz/id/nm9023/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
ŠAŠEK, Martin. Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou. Plzeň, 2012. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 22.8.2012
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou od 22. 8. 2012 dostupné: světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK