Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou – Ing. Martin ŠAŠEK
Ing. Martin ŠAŠEK
Doctoral thesis
Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou
Magnetron deposition of oxide and nitride thin films with high thermal stability
Anotácia:
V současné době existuje poptávka po nových tenkovrstvých materiálech s možností použití v oxidační atmosféře za teplot vyšších než 1000 °C. Proto se předkládaná disertační práce zabývá magnetronovým naprašováním tří skupin tenkovrstvých materiálů a studiem jejich vlastností a chování za uvedených podmínek. Jedná se o tenké vrstvy Al-Si-N, CuOx a Al2O3. Tenké vrstvy Al-Si-N byly zvoleny jako alternativa …viacAbstract:
In present times there is a strong demand for thin film materials usable in the oxidation atmosphere at temperatures over 1000 °C. Therefore this Ph.D. thesis deals with the magnetron sputtering of three groups of thin film materials, their properties evaluation and behavior at the above mentioned conditions. These thin film materials are Al-Si-N, CuOx and Al2O3. Al-Si-N thin films were chosen as the …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 8. 2012
Zverejniť od: 22. 8. 2012
Obhajoba závěrečné práce
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
ŠAŠEK, Martin. \textit{Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou}. Online. Dizertačná práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2012. Dostupné z: https://theses.cz/id/nm9023/.
Jak správně citovat práci
ŠAŠEK, Martin. Magnetronová depozice oxidových a nitridových vrstev s vysokou teplotní stabilitou. Plzeň, 2012. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 22.8.2012
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou od 22. 8. 2012 dostupné: světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Práce na příbuzné téma
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK