Zpět na vyhledávání

Mgr. Tomáš Novotný

Bachelor's thesis

Plazmochemická depozice nanostrukturovaných diamantupodobných tenkých vrstev

Plasma deposition of nanostructured diamond-like carbon films
Anotácia:
Ve své bakalářské práci jsem se zaměřil na studium fyzikálních vlastností diamantupodobných vrstev připravených plazmochemickou depozicí z plynné fáze. Zkoumal jsem jejich mechanické a optické vlastnosti. Zároveň seznamuji člověka, který projevil zájem o tuto oblast vědy, s promblematikou depozic a metod určování vlastností tenkých vrstev.
Abstract:
In the present work I study physical properties of diamond-like carbon layers prepared by plasma enchanced chemical vapour deposition. I study their mechanical and optical properties. And also I introduce someone, who is interested in this part of science, to mechanism of deposition and methods of analyses of thin layers.
 

Kľúčové slová

depozice tenké vrstvy metody analýzy deposition thin layers methods of analysis DLC PECVD
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 5. 2009
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/noqzj/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 25. 6. 2010
  • Vedúci: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce