Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev – Michal ŠULA
Michal ŠULA
Bachelor's thesis
Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev
A phenomenological model for high energy pulse reactive magnetron sputtering of dielectric layers
Abstract:
Předložená bakalářská práce se nejdříve zabývá obecným shrnutím současného stavu problematiky pulzního reaktivního naprašování tenkých dielektrických vrstev. Jsou popsány základní údaje a problémy tohoto oboru, a software užitý pro simulace srážek částic SDTrimSP. Dále se práce zabývá popsáním fenomenologického modelu reaktivního naprašování tenkých vrstev jeho následnou analýzou. Jsou prezentovány …moreAbstract:
Presented thesis is first, at the beggining, focused on summation of the current state in the field of pulsed reactive sputtering of dielectric thin films. Basic terms and problems are presented, along with short description of SDTrimSP, a software used for simulation of particle collisions. Next, the work focuses on description of a phenomenological model of reactive sputtering of thin films, and …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 16. 8. 2013
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Date of defence: 22. 8. 2013
- Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ŠULA, Michal. \textit{Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev}. Online. Bachelor's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2013. Available from: https://theses.cz/id/pcm479/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
ŠULA, Michal. Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev. Plzeň, 2013. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesBachelor programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied and Engineering Physics
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Jakub BLAŽEK -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Příprava a charakterizace termochromických povlaků na bázi VO2 pomocí pulzního reaktivního magnetronového naprašování
Michal KAUFMAN -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností
Martin VONÁSEK