Povrchová úprava krystalického křemíku v bariérovém výboji

Mgr. Martin Haničinec

Bakalářská práce

Surface modification of crystalline silicon in barrier discharge

Anotace:

Tato práce se věnuje studiu povrchových modifikací krystalického křemíku (c-Si) v bariérovém výboji buzeném za atmosférického tlaku ve vzduchu. V experimentech byl využíván koplanární bariérový výboj (DCSBD) a byl studován vliv parametrů výboje a délky expozice na změnu vlastností povrchu křemíkových desek. Cílem práce bylo určení parametrů výboje pro efektivní povrchové opracování.

Abstract:

This thesis studies the surface modifications of crystalline silicon (c-Si) in barrier discharge generated in the atmospheric pressure in the air. Mainly, the diffuse coplanar surface barrier discharge (DCSBD) was used and experiments have been done, to study the influence of the discharge parameters and the exposure time on the silicon surface properties. Finding out the parameters for effective surface modifications was the objective of this study.

Klíčová slova

povrchová úprava, povrchová energie, plazma, bariérový výboj, krystalický křemík, surface modification, surface energy, plasma, barrier discharge, crystalline silicon

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 5. 2010

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
• Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika