Diagnostics of HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones – Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.
Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.
Doctoral thesis
Diagnostics of HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones
Diagnostics of HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones
Abstract:
Tato disertační práce se věnuje diagnostice magnetronového naprašování buzeného pulzy s vysokým výkonem (HiPIMS). Za určitých experimentálních podmínek se plazma v HiPIMS výboji uspořádá do tzv. rotujících ionizačních center. Tato centra jsou lokální shluky plazmatu, ve kterých dochází k výrazné excitaci a ionizaci. Podmínky, za kterých se plazma samo-uspořádá do ionizačních center, jsou jedním z předmětů …moreAbstract:
This Ph.D. thesis deals with the diagnostics of rotating ionisation zones, which appear in the process of high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) under certain experimental conditions. Ionisation zones in HiPIMS plasma appear as local patterns of enhanced excitation and ionisation rotating above the target. The conditions of their occurrence in HiPIMS discharges are one of the subjects of …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 4. 2022
Identifier:
https://is.muni.cz/th/n04r9/
Thesis defence
- Date of defence: 14. 6. 2022
- Supervisor: Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
- Reader: doc. Ing. Pavel Baroch, Ph.D., doc. RNDr. Vítězslav Straňák, PhD.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ŠLAPANSKÁ, Marta. \textit{Diagnostics of HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2022. Available from: https://theses.cz/id/qv1da3/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Charakterizace TiAlON povlaků připravených technikou magnetronového naprašování buzeného pulzy velkého výkonu
Jakub Motl -
Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu
Tomáš Rada -
Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu
Šimon Žulták -
Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu
Marta Šlapanská -
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Přenos laserových pulzů s vysokým špičkovým výkonem optickými vlákny
Daniel Holub -
Měření útlumových parametrů optického coupleru po namáhání vysokým výkonem
Miroslav Loch -
Low Energy Electron Microscopy
Benjamin Daniel