Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu – Bc. Šimon Žulták
Bc. Šimon Žulták
Bachelor's thesis
Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu
Determination of the absolut concentration of species during high power pulse magnetron sputtering
Abstract:
This thesis is focused of concentration of argon metastables in magnetron sputtering. We used optical-emission spectroscopy and effective branching factors method to determine the concentration. For DC magnetron sputtering we measured concentration depending on variable pressure and variable power. In case of HiPIMS, we measured concentration development during the pulse. Comparison of the results …moreAbstract:
Táto práca sa zaoberá štúdiom koncentrácie metastabilov argónu pri magnetrónovom naprašovaní. Na určovanie koncentrácie je používaná opticko-emisná spektroskopia a metóda efektívnych vetviacich pomerov. Pre prípad DC magnetrónového naprašovania je určená závislosť na tlaku a výkone, v prípade HiPIMS ide o časový vývoj koncentrácie počas pulzu. Porovnanie nameraných trendov s literatútou ukázalo, že …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 18. 5. 2017
Identifier:
https://is.muni.cz/th/f2p82/
Thesis defence
- Date of defence: 21. 6. 2017
- Supervisor: Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics
Theses on a related topic
-
Určení absolutní koncentrace částic při magnetronovém naprašování
Jan Slaný -
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Katarína Bernátová -
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Katarína Bernátová -
Space and time resolved study of reactive HIPIMS process
Matej Fekete -
Určení absolutní koncentrace částic při magnetronovém naprašování
Jan Slaný