Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce – Mgr. Václav Valeš
Mgr. Václav Valeš
Bakalářská práce
Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce
Anotace:
Tato práce se zabývá studiem deformace tenkých vrstev SiGe slitiny vypěstované na křemíkovém substrátu za pomoci metody rentgenové difrakce. Po teoretickém odvození podmínek, při kterých k difrakci na krystalu dochází, následuje popis konkrétního uspořádání, při kterém byl experiment prováděn. Z naměřených map rozptýlené intenzity v reciprokém prostoru krystalu jsou určeny parametry vrstvy jako mřížkový …víceAbstract:
In this work I deal with the study of deformation of the thin layers (SiGe alloy) grown on silicon substrate using the method of X-ray difraction. After the theoretical derivation of the difraction conditions on the crystal, the specific arrangement of the experiment is described. The parametres of the layer such as lattice constant, concentration of germanium in the alloy or the relaxation degree …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 26. 5. 2006
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/qo9jn/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 29. 6. 2006
- Vedoucí: Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce
Tomáš Čechal -
Optimalizace přípravy vzorků s tenkými vrstvami pro studium porušení a deformace v příčném řezu
Karel SOUKUP -
Studium strukturních vlastností GaN a AlGaN vrstev pomocí metod rtg difrakce
Tomáš Procházka -
Krystalizace a strukturní studium farmakologicky potenciálně zajímavých malých molekul a supramolekul metodami difrakce RTG záření na monokrystalech
Viktorie Navarová -
Studium defektů v křemíku pomocí Laueho rtg. difrakce
Silvie Bernatová -
Studium mikrodefektů v křemíkových deskách difuzním rozptylem rtg záření
Václav Valeš