Absolutní interferometrie s přeladěním vlnové délky pro měření planparalelních optických elementů

Bc. Lukáš Veselý

Diplomová práce

Absolute Wavelength Tuning Interferometry for Measurement of Plan Paralel Optical Elements

Anotace:

Tématem diplomové práce je přesné a rychlé měření tvaru optických ploch planparalelních elementů, homogenity indexu lomu a jejich šířky. K tomuto účelu byla zvolena interferometrická metoda měření využívající řízenou změnu fáze a Fourierovu transformaci pro oddělení interferenčních obrazů. K separaci interferogramů pro jejich následné vyhodnocení byly využity diskrétní číslicové filtry s nekonečnou impulzní odezvou. Metoda je ověřena na více typech fizeau interferometrech a doplněna o absolutní interferometrii pro zjištění tloušťky měřených vzorků.

Abstract:

The topic of the diploma thesis is precise and fast measurement of the shape of optical surfaces of plane-parallel elements, homogeneity of refractive index and width. For this purpose, an interferometric measurement method using controlled phase shifting and Fourier transform for separation of interference images was chosen. Discrete digital filters with infinite impulse response were used to separate interferograms for their subsequent evaluation. The method is verified on several types of fizeau interferometers and supplemented by absolute interferometry to determine the thickness of the measured samples.

Klíčová slova

Měření planparalelních elementů, Interferometrie s řízenou změnou fáze, Fourierova transformace, Absolutní interferometrie, Fizeau interferometr

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 5. 2022

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Jan Kredba

Technická univerzita v Liberci

Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy v inženýrství / Aplikované vědy v inženýrství