Bc. Tomáš Rada

Bachelor's thesis

Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu

Preparation of coatings by multipulse operation of High Power Impulse Magnetron Sputtering and their analysis
Anotácia:
V této práci se věnujeme analýze a depozici tenkých vrstev titanu v nereaktivním plazmatu pomocí různých metod založených na magnetronovém naprašování se speciálním důrazem na multipulzní mód magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu. Jedná se o pokročilou metodu fyzikální depozice z plynné fáze produkující vrstvy s vysokou kvalitou. Výše zmíněnou depoziční metodu zde porovnáváme s lépe popsaným …viac
Abstract:
In this thesis, we study the deposition of the titanium thin film in inert gas plasma using a variety of methods based on magnetron sputtering with an emphasis on multi-pulse High Power Impulse Magnetron Sputtering. This is an advanced method of physical vapour deposition producing high quality films. We compare this method to the better described direct current magnetron sputtering and standard single …viac
 
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 6. 2021

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 6. 9. 2021
  • Vedúci: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
  • Oponent: Ing. Ondřej Zindulka

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta