Vliv energie částic na vlastnosti vrstev Me-B-C-(N) připravených reaktivní magnetronovou depozicí – Bc. Veronika ŠÍMOVÁ
Bc. Veronika ŠÍMOVÁ
Master's thesis
Vliv energie částic na vlastnosti vrstev Me-B-C-(N) připravených reaktivní magnetronovou depozicí
Effect of particle energy on properties of Me-B-C-(N) films prepared by reactive magnetron sputtering
Abstract:
Tato diplomová práce se zabývá problematikou tenkých vrstev na bázi přechodových kovů (Ti, Zr a Hf). Hlavním cílem práce bylo zjistit příčinu vysokého pnutí v materiálech Hf-B-C-(N) oproti materiálům na bázi Zr a Ti připravených za stejných podmínek. Za tímto účelem byla použita hmotnostní spektroskopie. Byly zkoumány vrstvy Me-B-C-N připravené při 45 % Me v erozní zóně terče B4C-Me ve směsi plynů …moreAbstract:
This diploma thesis deals with thin films based on nitrides and borides of transition metals. The main attention was devoted to find the reason of high compressive stress in Hf-B-C-(N) materials compared to materials based on Zr and Ti prepared under the same discharge conditions. For this purpose, mass spectroscopy was used. Thin films Me-B-C-N prepared at a fixed 45 % Hf fraction in the target erosion …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 30. 5. 2014
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Date of defence: 24. 6. 2014
- Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ŠÍMOVÁ, Veronika. \textit{Vliv energie částic na vlastnosti vrstev Me-B-C-(N) připravených reaktivní magnetronovou depozicí}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2014. Available from: https://theses.cz/id/t34me8/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
ŠÍMOVÁ, Veronika. Vliv energie částic na vlastnosti vrstev Me-B-C-(N) připravených reaktivní magnetronovou depozicí. Plzeň, 2014. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering