Bc. Ján Dugáček

Diplomová práce

Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD
Abstract:
In this thesis I studied the thermal stability of various thin layers by measuring the mass spectres of gases desorbed at various temperatures. The measurements were performed on two different devices. The results were evaluated using a program I created.
Abstract:
V této diplomové práci jsem se věnoval měření tepelní stability tenkých vrstev měřením hmotnostních spekter desorbovaných plynů při různých teplotách. Měření jsem vykonával na dvou různých zařízeních. Naměrené výsledky jsem zpracovával vlastním programem.
 

Klíčová slova

tepelná stabilita desorbce tenké vrstvy
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 5. 2015
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/dkoet/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 18. 6. 2015
  • Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.