Bc. Ján Dugáček

Master's thesis

Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD
Abstract:
In this thesis I studied the thermal stability of various thin layers by measuring the mass spectres of gases desorbed at various temperatures. The measurements were performed on two different devices. The results were evaluated using a program I created.
Abstract:
V této diplomové práci jsem se věnoval měření tepelní stability tenkých vrstev měřením hmotnostních spekter desorbovaných plynů při různých teplotách. Měření jsem vykonával na dvou různých zařízeních. Naměrené výsledky jsem zpracovával vlastním programem.
 

Keywords

tepelná stabilita desorbce tenké vrstvy
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 12. 5. 2015
Identifier: https://is.muni.cz/th/dkoet/

Thesis defence

  • Date of defence: 18. 6. 2015
  • Supervisor: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution

Masaryk University

Faculty of Science

Master programme / field:
Physics / Plasma Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.