Příprava a charakterizace nanostrukturních oxidů kovů

Markéta FIALOVÁ

Diplomová práce

Preparation and characterization of nanostructured oxide films

Anotace:

V rámci této práce byly připraveny vrstvy oxidu wolframu s různými stechiometriemi pomocí reaktivního magnetronového naprašování s použitím wolframového terče. Tyto vrstvy mohou sloužit jako plynové senzory. K zlepšení senzorické odezvy na vodík bylo použito palladium jako katalyzátor. Vrstvy byly zkoumány pomocí rentgenové difrakce, mikroskopu atomárních sil, skenovacího elektronového mikroskopu a testovány na senzorickou odezvu. Připravené vrstvy vykazují dobrou senzorickou odezvu a nejnižší měřitelná koncentrace je 100 ppm. Vlastnosti senzoru jsou ovlivněny použitím přidaného vzácného kovu, stechiometrií a tloušťkou vrstvy.

Abstract:

Thin films of tungsten oxide with various stoichiometries were prepared by reactive magnetron sputtering using a metal target. These films can be used as gas sensors. To improve the sensorial response to hydrogen palladium was used as a catalyst. The films were characterized by X-ray diffraction, atomic force microscopy, scanning electron microscopy and tested for the sensorial response. The prepared films exhibit good response, the lowest measured concentration was 100 ppm. The sensorial characteristics are significantly influenced by use of the added noble metal, stoichiometry and thickness of films.

Klíčová slova

oxid wolframu, plynové senzory, vodík, magnetronové naprašování, skenovací elektronový mikroskop

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 2. 6. 2016

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: RNDr. Stanislav Haviar, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství