Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu

Bc. Ondřej HODAN

Diplomová práce

Anotace:

Tato diplomová práce se zabývá přípravou a zkoumáním magnetronově naprašovaných tenkovrstvých materiálů ze systému W-Zr-Cu. Jedná se o zcela nové materiály, o kterých zatím nebyla publikována žádná studie. Cílem práce bylo připravit tyto materiály s širokém rozsahu složení a charakterizovat je pomocí různých analytických metod. Vrstvy byly zkoumány z hlediska struktury, mikrostruktury a povrchové morfologie pomocí rentgenové difrakce, skenovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. Dále pak byly indetačními metodami měřeny mechanické vlastnosti, přičemž byl brán ohled na přítomnost pile-up efektů. V neposlední řadě byla také měřena elektrická rezistivita pomocí čtyřbodové metody. Naměřená data byla zpracovávána a diskutována v kontextu současného poznání dílčích systémů Zr-Cu, W-Zr a W-Cu.

Abstract:

This thesis deals with the preparation and investigation of magnetron sputtered thin film materials from the W-Zr-Cu system. These are completely new materials about which no study has been published so far. The aim of the thesis was to prepare these materials in a wide range of compositions and to characterize them using various analytical methods. The films were investigated in terms of structure, microstructure and surface morphology using X-ray diffraction, scanning electron microscopy and atomic force microscopy. Furthermore, mechanical properties were measured by indentation methods taking into account the presence of pile-up effects. Finally, the electrical resistivity was also measured using the four-point probe. The measured data were processed and discussed in the context of the current understanding of the Zr-Cu, W-Zr and W-Cu sub-systems.

Klíčová slova

W-Zr-Cu, magnetronové naprašování, struktura, pile-up, tvrdost, Youngův modul, rezistivita

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 7. 2023

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Prof. Ing. Petr Zeman, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Magisterský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství