Mgr. Nikola Tulisová

Bakalářská práce

In-situ studie vývoje vnitřního pnutí ve vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním

In-situ study of stress evolution in thin films prepared by magnetron sputtering
Abstract:
This thesis is devoted to in-situ stress measurement in a thin films prepared by mag- netron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to perform correct calibration of MOSS and verify its functionality and usability. Calibration of the optical distance was necessary for proper measurements. The functionality of the device and correctness …více
Abstract:
Táto bakalárska práca sa venuje in-situ meraniu pnutia v tenkých vrstvách pripravovanej magnetrónovým naprašovaním. Pre toto meranie bol použitý mnohozväzkový optický sen- zor na meranie pnutia (Multibeam Optical Stress Senzor - MOSS). Hlavným cieľom tejto práce bola správna kalibrácia prístroja MOSS a overenie jeho funkčnosti a využiteľnosti. Pre správnu kalibráciu bolo nutné nastaviť správnou optickú …více
 

Klíčová slova

Pnutie tenká vrstva magnetrónové naprašovani Stress thin film magnetron sputtering
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2015
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/daky1/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 23. 6. 2015
  • Vedoucí: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Nanotechnologie - aplikovaná fyzika

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.