Analýza PN přechodů polovodičových součástek

Miroslav Pecha

Bakalářská práce

Analysis semiconductor PN junctions

Anotace:

Bakalářská práce je zaměřena na téma polovodičových součástek s PN přechodem a jejich následnou analýzu. V práci je nejdříve popsán samotný polovodičový materiál a způsob vzniku volných nosičů náboje. Dále je v práci vysvětlen vznik a princip PN přechodu, na který navazuje popis funkce jednotlivých polovodičových součástek. Poslední kapitola pojednává o analýze PN přechodů pomocí elektronového rastrovacího mikroskopu s pomocí EBIC detektoru. Nejdříve tato kapitola popisuje samotný princip elektronového rastrovacího mikroskopu a následně i princip EBIC detektoru. V poslední části práce je vysvětlen postup přípravy vzorků pro měření a následné měření.

Abstract:

The bachelor thesis is focused on the topic of semiconductor components with PN junction and their subsequent analysis. The work first describes the semiconductor material itself and the method of formation of free charge carriers. Furthermore, the work explains the origin and principle of the PN junction, which is followed by a description of the function of individual semiconductor components. The last chapter deals with the analysis of PN transitions using a scanning electron microscope with the help of an EBIC detector. First, this chapter describes the principle of the scanning electron microscope and then the principle of the EBIC detector. The last part of the work explains the procedure of sample preparation for measurement and subsequent measurement.

Klíčová slova

EBIC detektor, SEM, PN přechod, polovodič, polovodičové součástky

Keywords

EBIC detector, SEM, PN junction, semiconductor, semiconductor components

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2021

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Monika Hromasová, Ph.D.
• Oponent: Vladimír Ryženko, Ph.D.

Česká zemědělská univerzita v Praze

Technická fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Zemědělské inženýrství / Informační a řídicí technika v agropotravinářském komplexu