Bc. Radek Žemlička, Ph.D.

Diplomová práce

In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích

In situ study of thin film growth a etching in low pressure rf capacitive discharges
Anotace:
V této diplomové práci se věnujeme efektu procesů růstu a leptání tenkých vrstev na Fourierovy složky výbojového napětí a hledáme jejich využití pro in-situ monitorování plazmových procesů.
Abstract:
In this thesis we study the effect of etching and growth processes of thin layers on the Fourier components of discharge voltage and seek to use them for in-situ monitoring of plasma processesing.
 

Klíčová slova

plazma diagnostika harmonické frekvence leptání depozice vysokofrekvenční výboj plasma diagnostics harmonics frequency etching deposition RF discharge
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2012
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/xcksm/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 12. 6. 2012
  • Vedoucí: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce