Zpět na vyhledávání

Bc. Radek Žemlička, Ph.D.

Master's thesis

In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích

In situ study of thin film growth a etching in low pressure rf capacitive discharges
Abstract:
V této diplomové práci se věnujeme efektu procesů růstu a leptání tenkých vrstev na Fourierovy složky výbojového napětí a hledáme jejich využití pro in-situ monitorování plazmových procesů.
Abstract:
In this thesis we study the effect of etching and growth processes of thin layers on the Fourier components of discharge voltage and seek to use them for in-situ monitoring of plasma processesing.
 

Keywords

plazma diagnostika harmonické frekvence leptání depozice vysokofrekvenční výboj plasma diagnostics harmonics frequency etching deposition RF discharge
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2012
Identifier: https://is.muni.cz/th/xcksm/

Thesis defence

  • Date of defence: 12. 6. 2012
  • Supervisor: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution