In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích – Bc. Radek Žemlička, Ph.D.
Bc. Radek Žemlička, Ph.D.
Master's thesis
In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích
In situ study of thin film growth a etching in low pressure rf capacitive discharges
Abstract:
V této diplomové práci se věnujeme efektu procesů růstu a leptání tenkých vrstev na Fourierovy složky výbojového napětí a hledáme jejich využití pro in-situ monitorování plazmových procesů.Abstract:
In this thesis we study the effect of etching and growth processes of thin layers on the Fourier components of discharge voltage and seek to use them for in-situ monitoring of plasma processesing.
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2012
Identifier:
https://is.muni.cz/th/xcksm/
Thesis defence
- Date of defence: 12. 6. 2012
- Supervisor: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ŽEMLIČKA, Radek. \textit{In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích}. Online. Master's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2012. Available from: https://theses.cz/id/w8dj5b/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Elektrické charakteristiky vysokofrekvenčního výboje
Zdeněk Moravec -
Sondová měření v pulzním výboji
Tomáš Medek -
Studium sterilizace povrchu materiálu pomocí rf plazmatu
Jana Nahodilová -
Time resolved diagnostics of microwave pulsed plasma
Jaroslav Hnilica -
Nanotopographic surfaces prepared by plasma etching
Alina Mamedova -
Plazmové leptání plazmových polymerů cyklopropylaminu využitých pro biosenzory
Jan Daňhel -
Plazma vaječného žloutku jako alternativa k séru v kultivačních médiích
Michaela KLOZOVÁ -
Příprava plazma polymerních filmů na bázi ethylen glykolu
Quan Anh NGUYEN