Mgr. Eliška Mikmeková, Ph.D.

Bachelor's thesis

Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

The thermal stability of films prepared by PE-CVD
Abstract:
Cílem této práce je určit teplotní stabilitu vrstev vytvořených metodou PE-CVD, v rozmezí 25C-1000C, pomocí termodesorpční spektrometrie. Vrstvy byly zahřívány v elektrické laboratorní peci (konstantní zahřívací rychlostí) a plyn desorpující z povrchu byl analyzován kvadrupólovým hmotnostním spektrometrem, kde lze nastavit hmoty, které chceme detekovat. Výsledky byly vyhodnoceny v programu Origin a …more
Abstract:
The thermal stability was studied at series of films. Films were prepared by method PE-CVD. The thermal stability of samples was studied by means of thermal desorption spectroscopy (TDS) in the range (25-1000)C. The studied sample was placed into vacuum chamber heated with constant heating rate. Thermal stability of samples was investigated for different heating rates - 10 C /min., 7.5 C/min and 5 …more
 

Keywords

termální stabilita tenké vrstvy hmotnostní spektrometrie metoda PE-CVD
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 26. 5. 2006
Identifier: https://is.muni.cz/th/g78d4/

Thesis defence

  • Date of defence: 27. 6. 2007
  • Supervisor: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution