Zpět na vyhledávání

Bc. Filip Studnička

Master's thesis

Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku

Deposition of thin films in atmospheric pressure discharges
Anotácia:
V předložené práci studuji homogenní dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a depozice tenkých vrstev v těchto výbojích ve směsi hexamethyldisiloxanu s dusíkem a kyslíkem a ve směsi propan-butanu s dusíkem. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výbojového plasmatu a charakterizaci připravených vrstev pomocí dostupných metod (např. optická mikroskopie, spektroskopická elipsometrie …viac
Abstract:
In the present work I studied dielectric barrier discharge at atmospheric pressure and the deposition of thin organosilicon films in nitrogen, oxygen and HMDSO or propane-butane nitrogen atmosphere. I performed basic electric diagnostics of plasma and the deposited films were characterised by optical microscopy, depth sensing indentation, ellipsometry, FTIR spectroscopy etc. I studied the effects of …viac
 

Kľúčové slová

depozice organosilikon HMDSO výboj za atmosférického tlaku APTD deposition organosilicon atmospheric pressure discharge
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 13. 5. 2010
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/giz7x/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 11. 6. 2010
  • Vedúci: prof. RNDr. David Trunec, CSc.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce