Zpět na vyhledávání

Bc. Michal Kurka

Diplomová práce

Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie

Structuring of As\dindex{50}Se\dindex{50} chalcogenide glass thin films by electron beam lithography
Anotace:
Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů …více
Abstract:
This thesis deals with a study of As50Se50 chalcogenide glass thin films properties and possibilities of their structuring using electron beam lithography. Thin films were prepared by vacuum thermal evaporation method. Changes of the structure, optical parameters and chemical resistance in dependence on the exposure to polychromatic electromagnetic radiation and electron beam of these thin films, were …více
 

Klíčová slova

chalkogenidová skla tenké vrstvy elektronová litografie
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 5. 2019
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Karel Pálka, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Kurka, Michal. Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie. Pardubice, 2019. diplomová práce (Ing.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologická
https://portal.upce.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=37951 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce