Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie – Bc. Michal Kurka
Bc. Michal Kurka
Master's thesis
Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie
Structuring of As\dindex{50}Se\dindex{50} chalcogenide glass thin films by electron beam lithography
Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů …moreAbstract:
This thesis deals with a study of As50Se50 chalcogenide glass thin films properties and possibilities of their structuring using electron beam lithography. Thin films were prepared by vacuum thermal evaporation method. Changes of the structure, optical parameters and chemical resistance in dependence on the exposure to polychromatic electromagnetic radiation and electron beam of these thin films, were …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 7. 5. 2019
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Ing. Karel Pálka, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
KURKA, Michal. \textit{Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As$\backslash$dindex$\{$50$\}$Se$\backslash$dindex$\{$50$\}$ pomocí elektronové litografie}. Online. Master's thesis. Pardubice: University of Pardubice, Faculty of Chemical Technology. 2019. Available from: https://theses.cz/id/yx84hu/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
Kurka, Michal. Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie. Pardubice, 2019. diplomová práce (Ing.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologickáUniversity of Pardubice
Faculty of Chemical TechnologyMaster programme / field:
Chemistry and Technology of Materials / Material Engineering
Theses on a related topic
-
Chalkogenidová skla a chalkogenidové tenké vrstvy systému As\dindex{2}Se\dindex{3}-As\dindex{2}Te\dindex{3}-SnTe
Václav Parchanski -
Rotačně nanášené Er\hindex{3+} a Er\hindex{3+}/Yb\hindex{3+} dopované tenké vrstvy GeS\dindex{2} a (GeS\dindex{2})\dindex{80}(Ga\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}(Sb\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}
Tomáš Halík -
Rotačně nanášené chalkogenidové tenké vrstvy As\dindex{30}S\dindex{70} a Ge\dindex{25}S\dindex{75} dopovaných ionty lanthanoidů
Dagmar Binková -
Viskozita a růst krystalů v amorfních vzorcích chalkogenidového skla Ge25Se75
David Vaculík