Zpět na vyhledávání

Bc. Michal Kurka

Master's thesis

Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie

Structuring of As\dindex{50}Se\dindex{50} chalcogenide glass thin films by electron beam lithography
Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů …more
Abstract:
This thesis deals with a study of As50Se50 chalcogenide glass thin films properties and possibilities of their structuring using electron beam lithography. Thin films were prepared by vacuum thermal evaporation method. Changes of the structure, optical parameters and chemical resistance in dependence on the exposure to polychromatic electromagnetic radiation and electron beam of these thin films, were …more
 

Keywords

chalkogenidová skla tenké vrstvy elektronová litografie
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 7. 5. 2019
Accessible from:: 31. 12. 2999

Thesis defence

  • Supervisor: Ing. Karel Pálka, Ph.D.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

Kurka, Michal. Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie. Pardubice, 2019. diplomová práce (Ing.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická

Full text of thesis

Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologická
https://portal.upce.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=37951 Reference to the local database file of the institution