Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As\dindex{50}Se\dindex{50} pomocí elektronové litografie

Bc. Michal Kurka

Master's thesis

Structuring of As\dindex{50}Se\dindex{50} chalcogenide glass thin films by electron beam lithography

Anotácia:

Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů.

Abstract:

This thesis deals with a study of As50Se50 chalcogenide glass thin films properties and possibilities of their structuring using electron beam lithography. Thin films were prepared by vacuum thermal evaporation method. Changes of the structure, optical parameters and chemical resistance in dependence on the exposure to polychromatic electromagnetic radiation and electron beam of these thin films, were studied.

Kľúčové slová

chalkogenidová skla, tenké vrstvy, elektronová litografie

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 5. 2019

Zverejniť od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedúci: Ing. Karel Pálka, Ph.D.

University of Pardubice

Faculty of Chemical Technology

Master programme / odbor:
Chemistry and Technology of Materials / Material Engineering