Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku – Bc. Martin Karkuš
Bc. Martin Karkuš
Bakalářská práce
Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku
Plasma chemical deposition of carbon-based thin films doped by copper
Abstract:
This bachelor thesis is focused on preparing copper-doped carbon-based thin films using plasma-enhanced chemical vapour deposition. Thin films were deposed in capacity-coupled plasma of radio-frequency discharge in a blend of methane and precursor (hfac)-copperVTMS, where the precursor was bubbled using argon. In order to find optimal deposition parameters, combinations of three power settings and …víceAbstract:
Tato bakalářská práce je zaměřená na vytvoření mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze. Tenké vrstvy byly deponované v~kapacitně vázaném plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje ve směsi metanu a~prekurzoru (hfcac)copperVTMS, přičemž prekurzor byl probubláván argonem. Pro nalezení optimálních depozičních podmínek byly použity kombinace tří depozičních …více
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2024
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/l8vhx/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 24. 6. 2024
- Vedoucí: Mgr. Roman Přibyl
- Oponent: Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika – nanotechnologie / Fyzika – nanotechnologie
Práce na příbuzné téma
-
Vývoj průmyslové technologie přípravy diamantu podobných vrstev
Michael Kroker -
Dopace diamantu podobného uhlíku pro použití v medicíně
Petr Písařík -
Moderní brýlové čočky potažené diamantu podobnou uhlíkovou vrstvou
Jiří Fogl -
Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem
Tomáš Gardelka -
Optimalizace vlastností ochranných DLC (Diamond Like Carbon) vrstev pomocí kovových příměsí
Ivana Venkrbcová -
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku
Pavlína Kührová -
Effects of elaboration conditions on structural and magnetic properties of SnO2: bulks and thin films
Petr Pazourek -
Growth and characterization of thin films of functional molecules
Jakub Rozbořil