Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku – Bc. Martin Karkuš
Bc. Martin Karkuš
Bachelor's thesis
Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku
Plasma chemical deposition of carbon-based thin films doped by copper
Abstract:
This bachelor thesis is focused on preparing copper-doped carbon-based thin films using plasma-enhanced chemical vapour deposition. Thin films were deposed in capacity-coupled plasma of radio-frequency discharge in a blend of methane and precursor (hfac)-copperVTMS, where the precursor was bubbled using argon. In order to find optimal deposition parameters, combinations of three power settings and …moreAbstract:
Tato bakalářská práce je zaměřená na vytvoření mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze. Tenké vrstvy byly deponované v~kapacitně vázaném plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje ve směsi metanu a~prekurzoru (hfcac)copperVTMS, přičemž prekurzor byl probubláván argonem. Pro nalezení optimálních depozičních podmínek byly použity kombinace tří depozičních …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2024
Identifier:
https://is.muni.cz/th/l8vhx/
Thesis defence
- Date of defence: 24. 6. 2024
- Supervisor: Mgr. Roman Přibyl
- Reader: Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics – nanotechnology / Physics – nanotechnology
Theses on a related topic
-
Vývoj průmyslové technologie přípravy diamantu podobných vrstev
Michael Kroker -
Dopace diamantu podobného uhlíku pro použití v medicíně
Petr Písařík -
Moderní brýlové čočky potažené diamantu podobnou uhlíkovou vrstvou
Jiří Fogl -
Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem
Tomáš Gardelka -
Optimalizace vlastností ochranných DLC (Diamond Like Carbon) vrstev pomocí kovových příměsí
Ivana Venkrbcová -
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku
Pavlína Kührová -
Effects of elaboration conditions on structural and magnetic properties of SnO2: bulks and thin films
Petr Pazourek -
Growth and characterization of thin films of functional molecules
Jakub Rozbořil