Zpět na vyhledávání

Bc. Martin Karkuš

Bachelor's thesis

Plazmochemická depozice mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku

Plasma chemical deposition of carbon-based thin films doped by copper
Abstract:
This bachelor thesis is focused on preparing copper-doped carbon-based thin films using plasma-enhanced chemical vapour deposition. Thin films were deposed in capacity-coupled plasma of radio-frequency discharge in a blend of methane and precursor (hfac)-copperVTMS, where the precursor was bubbled using argon. In order to find optimal deposition parameters, combinations of three power settings and …more
Abstract:
Tato bakalářská práce je zaměřená na vytvoření mědí dopovaných tenkých vrstev na bázi uhlíku pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze. Tenké vrstvy byly deponované v~kapacitně vázaném plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje ve směsi metanu a~prekurzoru (hfcac)copperVTMS, přičemž prekurzor byl probubláván argonem. Pro nalezení optimálních depozičních podmínek byly použity kombinace tří depozičních …more
 

Keywords

tenké vrstvy PECVD diamantu podobné uhlíkové vrstvy AFM (hfac)copperVTMS nanoindentace thin films diamond like carbon films nanoindentation
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2024
Identifier: https://is.muni.cz/th/l8vhx/

Thesis defence

  • Date of defence: 24. 6. 2024
  • Supervisor: Mgr. Roman Přibyl
  • Reader: Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution