Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties – Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D.
Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D.
Doctoral thesis
Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties
Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties
Abstract:
Tenké vrstvy mají široké uplatnění v celé řadě odvětví jako např. v optických komponentech, integrovaných obvodech či jako biomedicínské povlaky. Jednou z metod přípravy tenkých vrstev je plazmochemická depozice z plynné fáze. Cílem této práce bylo prozkoumat vlastnosti nového reaktoru zamýšleného pro studium homogenity plazmatu v závislosti na poloze v reaktoru. Za tímto účelem byly nadeponovány série …moreAbstract:
Thin films are widely used in many applications as optical devices, integrated digital circuits, biomedical coatings, etc. One of the common preparation methods of the films is to use the plasma enhanced chemical vapor deposition. The goal of this work was to examine properties of a new deposition reactor intended for study of plasma homogeneity in dependence on the position in the reactor chamber …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 7. 7. 2010
Identifier:
https://is.muni.cz/th/hgzir/
Thesis defence
- Date of defence: 30. 9. 2010
- Supervisor: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- Reader: Ing. Vladimír Železný, CSc., doc. RNDr. Anna Záhoranová, CSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
VALTR, Miroslav. \textit{Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2010. Available from: https://theses.cz/id/00yfua/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics (4-years) / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Spectroscopic characterization and modelling of transparent conductive layers of fluorine doped tin oxide
Jiří Horníček -
Optical and magneto-optical spectroscopic ellipsometry of thin layers and nanostructures
Ondřej Vlašín -
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Tereza LERCHOVÁ -
Reaktivní depozice vrstev Si-B-C-N pomocí kontinuálních a pulzních magnetronových výbojů
Pavel CALTA -
Modelování vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro depozici vrstev
Tomáš KOZÁK -
Diagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstev
Veronika ŠÍMOVÁ -
Diagnostika a modelování vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů
Jan LAZAR -
Effects of elaboration conditions on structural and magnetic properties of SnO2: bulks and thin films
Petr Pazourek